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集成电路企业节水管理和水平衡测试案例分析 被引量:1

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摘要 集成电路的生产过程中需要消耗大量的纯水,用于设备冷却、晶片清洗和切割定型等工艺流程。纯水机组是用水量最大的设备,在制备纯水的同时也产生了大量的浓水。某企业经过改造,将产出的浓水充分利用于冷却塔补水、绿化喷淋、如厕用水等用水点,取得了较好的效果。该文以该企业作为考察案例,通过企业水平衡测试,准确地分析了企业的用水情况和评价企业的用水管理水平,为进一步挖掘节水潜力,为企业制定用水目标和计划提供科学的依据。
作者 吴瀚
出处 《科技创新导报》 2017年第15期209-210,共2页 Science and Technology Innovation Herald
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