图像式水平尺自动校准系统的评定

图像式水平尺自动校准系统采用精密双圆柱导轨及运动控制技术、光栅测量技术和数字图像处理技术,实现水平尺的快速自动化校准,主要由线纹尺示值误差校准部分和分度值误差校准部分等组成。介绍了该校准系统的结构及组成,分析了线纹尺示值误差校准部分和分度值误差校准部分的误差来源,并针对这两部分进行了测量不确定度评定。