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工业4.0和半导体制造业的发展 被引量:1

Industry 4.0 and the Evolution of Semiconductor Manufacturing
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摘要 为满足消费者对功能更丰富和性能更高的设备需求,半导体制造业需在资本设备方面进行大量投资,因而也导致竞争变得日趋激烈。为提高竞争力,芯片制造商正在采用工业4.0制造技术来实现更高水平的卓越运营。阐述工业4.0的含义,提供工业4.0在半导体晶圆厂环境下的应用示例,并说明应用材料公司如何驱动这一发展。
作者 Ganesh Hegde
出处 《电子产品世界》 2018年第3期18-19,共2页 Electronic Engineering & Product World
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