大气压微波等离子体的数值分析

本文针对微波等离子体研究成本高的问题,提出利用有限元方法,求解多种物理方程,仿真等离子体瞬态机理。仿真描述等离子体放电过程,获取等离子体在大气压微波激励产生和维持的机制,给出电子密度、电子温度、气体温度的瞬态与空间变化,数值仿真的方法节约成本、缩短研究周期,且能够更清晰的描述放电过程的瞬态物理特性,是研究气体放电等离子体的非常重要的途径。点评人:华伟,电子信息学院副教授,研究方向:微波等离子体、微波化学、射频电路。