利用CO_2激光修复熔石英光学元件损伤的残余应力控制

CO_2激光修复技术是修复熔石英光学元件激光损伤的主要方法,但是在修复过程中可能出现烧蚀、气泡、残余应力、调制等问题,尤其是残余应力问题,如果不加以控制极易导致光学元件再损伤和局部开裂。本文主要研究了在利用CO_2激光修复熔石英光学元件的激光诱导损伤过程中的残余应力控制。通过塞纳蒙(Senarmont)应力检测法,测量应力双折射产生的光程差随激光退火时间的变化关系,发展了一种临界损伤尺寸开裂法精确测量激光退火后的残余应力,有效控制了产生的残余应力,提升了熔石英光学元件损伤点的抗损伤能力。