MEMS液晶光衰减器阵列及制作方法

该发明具体涉及一种MEMS液晶光衰减器阵列及制作方法。MEMS液晶光衰减器阵列由单晶硅衬底、入射光纤和出射光纤耦合阵列、填充聚合物分散液晶材料的液晶微槽组成。在硅基衰减器阵列中,将光纤对接耦合阵列结构与液晶材料衰减功能单元合并为一体,通过ITO透明导电电极施加电场控制聚合物分散液晶材料,可以实现对不同光通路中聚合物分散液晶材料的调制,从而实现对多个光通路的光的衰减,进而完成该发明MEMS液晶光衰减器阵列的目的。