炭/炭复合材料化学气相沉积设备研究

炭/炭复合材料是国家航空航天的关键材料,制备高性能炭/炭复合材料的关键是化学气相沉积设备与技术。我国在炭/炭复合材料的化学气相沉积工艺和制备研究上已取得了较大的进展,但与美、俄、法等发达国家相比还存在较大的差距,特别是在大尺寸、高要求炭/炭复合材料的沉积装备上,还存在一定的差距。一方面,设备的工作原理和总体结构基本满足工艺要求;另一方面,设备的可靠性差、稳定性不够。