TFT-LCD彩膜工艺宏观缺陷自动化修补的探究

Research on automatic repair of macro defects in CF process

目前CF基板的宏观缺陷出现后是无法修补的,当缺陷的特定值超过Spec,Glass上相应的Panel就会被判为Panel NG。每天会有很多Panel因为宏观品质NG掉。而所有的宏观缺陷中,竖线Mura所占到的比率最高。提出一种可自动修复NG竖线的Mura设备的设想。衡量竖线Mura是否符合标准的Spec参数为膜厚,当基板上的Panel出现膜厚值超过Spec值的竖线Mura,就需要将此Panel判为NG,后续报废掉。新设想的Mura检测机可通过新设计的"探针单元"确定竖线区域膜厚的高低,再利用"竖线处理单元"对竖线进行处理,并根据"图像对比单元"的数据对比进行结果确认或再修改,快速将此竖线的特性值处理为Spec内,使得此缺陷不会导致Panel NG。这就使得CF基板的OK比率有了大幅度的提高,为公司节约了大量的成本,更重要的是实现了CF基板宏观缺陷的自动化修补。