变刚度微纳测头的结构设计与性能分析

随着微电子机械系统技术的发展,微纳米测量装置已广泛用于机械工程、光学工程等领域[1]。由于工件尺寸较小,为避免测量时对工件的破坏,要求测头支撑机构具有较低的刚度,但当测头离开工件表面时又要求测头支撑机构具有较高的刚度[2],因此研究变刚度微纳测头具有重要的意义。1变刚度微纳测头的结构设计变刚度微纳测头结构主要由测球、测杆、中间体、悬丝、弧形柔顺机构、压电装置、基座等组成,结构示意图如图1所示。