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半导体激光器失效分析方法与失效机理研究

Failure Analysis Method and Failure Mechanism Study on Semiconductor Laser Diodes
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摘要 使用红外热像仪、微光显微镜(EMMI)、聚焦离子束(FIB)、高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)和能量色散X射线能谱仪(EDS)等技术手段对在长期老化过程中发生COD的激光器样品进行了失效分析,总结出相应的长期老化失效机理。 The laser diode samples reacted with catastrophic optical damage(COD)during long-term aging process were analyzed by means of infrared thermography,emission microscope(EMMI),focused ion beam(FIB),high-resolution transmission electron microscopy(HRTEM)and energy dispersive X-ray spectroscopy(EDS),and the failure mechanism of long-term aging was summarized.
作者 张思雨
出处 《环境技术》 2018年第A01期63-67,共5页 Environmental Technology
关键词 半导体激光器 失效分析 失效模式 失效机理 老化 semiconductor laser diodes failure analysis failure mode failure mechanism aging
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