余浩:集成电路创新前沿阵地的探索者

集成电路芯片及其制造技术是信息时代的基石,代表着当今世界微细制造的最高水平,在各行各业中发挥着非帯重要的作用。经过9年攻关,我国集成电路关键设备终于实现从无到有、由弱变强。现如今,随着经济的发展以及下一代通信的需求,对高性能集成皂路领域的研究吸引了众多科研人员的关注。