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MEMS传感器的发展概况 被引量:7

Development of MEMS sensors
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摘要 物联网的发展和智能终端的广泛应用,使得传感器产品需求大幅增加,重心逐渐转向技术含量较高的MEMS传感器领域。MEMS传感器应用广泛,其涉猎方向已经渗入到社会生活的方方面面。
作者 韩允
出处 《电子产品世界》 2019年第1期4-8,共5页 Electronic Engineering & Product World
关键词 MEMS 传感器
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