摘要
该文实验研究了退火温度对声表面波检测器电极表面粗糙度的影响。电极表面的粗糙度随着退火温度不同而变化,实验中分别选择常温(25?C)、200?C和300?C作为退火温度对两种镀膜方式制备的声表面波器件进行退火,最后得到退火温度和电极表面粗糙度的对应关系。从实验结果来看,退火温度为200?C时,得到的电极表面粗糙度最大。该研究为声表面波检测器表面粗糙度优化及灵敏度提升提供了基础。
The effect of annealing temperatures on electrode surface roughness of the surface acoustic wave (SAW) detectors was studied.The electrode surface roughness of the SAW detector was changed by annealing at different temperatures.25 ?C,200 ?C and 300 ?C were chosen for this experiment.From the experimental results,when annealing temperature is 200 ?C,the electrode surface roughness is the largest.This study provides a basis for surface roughness optimization and sensitivity improvement of acoustic surface wave detector.
作者
王剑
安燕
刘明华
刘久玲
何世堂
WANG Jian;AN Yan;LIU Minghua;LIU Jiuling;HE Shitang(Institute of Navigation Instrument of Tianjin,Tianjin 300131,C;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China)
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2019年第1期129-133,共5页
Journal of Applied Acoustics
基金
国家重点研发子课题项目(2017YFC0803603-Z04)
关键词
声表面波
粗糙度
退火温度
传感器
Surface acoustic wave
Surface roughness
Annealing temperature
Sensor