微构件弯曲加载机构结构总体方案设计

随着微机械的发展,实际时对应机械微构建不但要实现功能性设计,还需要考虑材料特性参数对设计部件的影响,而微构件力学特性数据对MEMS机构设计具有重要影响,因此需要一种可以获取微构件力学特性的测试方法。文章以微梁弯曲法为基础,建立适用于微机构力学特性测量方法的基本模型,为今后维纳力学特性的高准确度测量研究与开发提供研究基础。