LED芯片制程中统计过程控制技术的应用

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摘要本文从LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的需求、意义、实施等入手,结合LED外延及芯片产品的工艺特点,给出LED外延及芯片生产线应用SPC统计过程控制技术的方法。

作者王琛琛廉大桢

机构地区西安中为光电科技有限公司

出处《电子技术与软件工程》 2019年第3期62-62,共1页 ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

关键词 LED SPC 统计过程控制

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电子技术与软件工程

2019年第3期

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