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AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的制备及其物性分析

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摘要 文章在溶胶燃烧法制备的AZO薄膜的基础上,将银层导入其中,制备出AZO/Ag/AZO三层结构透明导电薄膜。并对得到的透明导电薄膜进行分析研究。最终成功降低了溶胶燃烧法制备的薄膜的电阻率。 In this paper,based on the AZO thin films prepared by sol combustion method,the silver layerwas introduced into it,and the AZO/Ag/AZO three-layer transparent conductive thin films were prepared.The transparent conductive thin films were analyzed and studied.Finally,the resistivity of the films prepared by sol combustion method was successfully reduced.
作者 杨波
机构地区 长春理工大学
出处 《科技创新与应用》 2019年第8期96-97,共2页 Technology Innovation and Application
关键词 AZO/Ag/AZO 溶胶燃烧 AZO 真空蒸镀 AZO/Ag/AZO sol combustion AZO vacuum evaporation
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