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报道科技成果切莫变成“自嗨文”
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摘要
研发人员介绍,这台22纳米分辨率光刻机在加工大口径薄膜镜、超导纳米线单光子探测器等纳米功能器件上具有明显优势。但是,这台光刻机要想应用于芯片,还要攻克一系列技术难题,距离还相当遥远。
作者
赵永新
机构地区
不详
出处
《发明与创新(大科技)》
2018年第12期6-6,共1页
关键词
科技成果
纳米分辨率
单光子探测器
功能器件
光刻机
大口径
纳米线
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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发明与创新(大科技)
2018年 第12期
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