特种气体的提纯工艺及提纯装置

本发明涉及一种特种气体的配气装置,所述配气装置包括置于同一高度的N个同样的目标气瓶、N根金属管、一分流圆轴,每一目标气瓶通过一根金属管连接在分流圆轴上,所述分流圆轴与原料瓶组通过管道连通,所述原料瓶组包括一原料瓶柜以及置于原料瓶柜内的若干原料瓶,所述管道上设置有阀门。本发明特种气体的配气装置及方法,在现有配气装置的基础上,进行了改造,利用1/4NPT连接方式实现同时多瓶特种气体的配气,成本低廉,达到了预期的效果。