国内外碳纳米管材料、器件及电路技术的最新进展

随着半导体技术的发展,碳纳米管是最有希望得到发展的新兴半导体材料之一。介绍了近两年国内外碳纳米管技术在材料、器件和电路方面的研究进展,重点阐述了实现米级突破的碳纳米管材料合成技术、高密度高纯度CNT阵列、栅长达5纳米的CNT晶体管以及CNT三维集成电路等。所有这些成果都为CNT器件和电路技术及其规模集成的实用化发展奠定坚实的基础。最后分析了CNT技术实用化需要突破的关键技术,对国际上CNT材料和器件的发展进行了展望。