气相色谱法测定硅烷法生产多晶硅的尾气中硅烷的含量

GC Determination of Silane in the Tail Gas of Polysilicon Production by Silane Method

近年来,由于国内外大型多晶硅生产企业的不断扩张,使得多晶硅由过去的暴利阶段进入了品质和成本的竞争阶段。硅烷法生产多晶硅具有分解温度低、能耗低、成本低、无污染等优点,被越来越多的多晶硅生产企业关注和应用。不论是国外大型多晶硅生产厂家的成熟发展,还是目前国内硅烷法生产多晶硅的逐步发展的趋势,这些都表明硅烷法是未来多晶硅产业技术提升与发展的主要方向。