世上最贵的精密仪器ASMLEUV无尘车间

荷兰ASML公司拥有世界上最好的芯片制造的核心设备——EUV极紫外光刻。在芯片加工过程部分环节的生产环境:车间入场需全副“武装”:整套入场服包含:头罩、无尘服、袜子、鞋子、口罩以及手套。人是无尘车间最大的污染源,每天代谢脱落10亿个皮肤微粒,都会对机器产生影响,必须穿入场服隔离。无尘车间内的空气要比外面干净10倍。