EBPVD真空插板阀故障研究与分析

Research and analysis of EBPVD vacuum plug valve fault

针对EBPVD真空插板阀显示故障,结合其工作原理进行分析并对比出现的故障,深入研究真空阀相关的电磁阀系统和PLC系统,最终逐步排除故障,为研究设备提供依据,对真空设备的维修、维护有重要的参考价值。