气体原料制出1立方厘米级单晶金刚石

日本产业技术综合研究所采用微波等离子体CVD(化学气相沉积)法,首次利用气体制作出体积1立方厘米级的无裂纹单晶金刚石。此次采用容易扩大合成面积的气体为原料,制作出全球最大级的高品质晶体,这一成果是向实现大型晶圆迈出的重要一步。