专利文摘

本发明涉及一种电子气体尾气的回收利用方法及装置,首先将电子气体尾气送入吸收塔下部,吸收剂由塔顶进入,塔底物料作为原料输送至脱轻塔,塔顶采出轻杂质;吸收塔塔底物料在脱轻塔中进行分离,塔顶采出轻组分,塔釜一部分作为吸收剂返回吸收塔顶部,一部分作为原料输送至脱重塔;脱重塔塔顶采出电子气体产品,塔釜物料进入吸收剂回收塔;吸收塔顶部气体先进入预处理塔脱除部分重组分,预处理塔塔顶采出稀有气体依次进人一级冷阱、二级冷阱,冷凝液返回预处理塔,未经冷凝的气体即为高纯度的稀有气体;脱重塔底部物料进入吸收剂回收塔后,塔顶采出轻杂质,塔底采出重杂质,底部侧线采出吸收剂返回吸收塔顶部。电子气体回收率90%~99%。