半导体全自动滚圆开槽成形磨床

Introduction of Semiconductor Automatic Round Grooving Forming Grinding Machine

介绍了一种半导体全自动滚圆开槽成形磨床的基本布局,对加工零件和机床内关键技术及主要部件做了重点说明。通过对半导体硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的半导体全自动滚圆开槽成形磨床,用于磨削半导体硅棒外圆、OF面/V槽(notch槽)可以收到理想的效果。