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“高能冲击磁控溅射技术及工程应用”专题主编李刘合
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摘要
李刘合,男,博士,北京航空航天大学长聘教授,博导,材料加工与控制系主任,北航“先进表面及微纳传感”创新团队负责人,“教育部新世纪优秀人才”、“北京市优秀人才”支持计划获得者。长期从事低温等离子体物理及应用技术研究。
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第9期I0010-I0010,共1页
Surface Technology
关键词
磁控溅射技术
应用
北京航空航天大学
主编
工程
高能
等离子体物理
材料加工
分类号
V-4 [航空宇航科学技术]
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