干涉光路系统光轴对准度装调方法研究

干涉光路光轴对准度对于干涉光路系统的性能影响重大,是影响干涉光路系统观测、测量、响应等性能的主要因素。本文通过合理搭建光路,使产品装调过程由盲调改为可视化操作。该方法基于干涉光路特性,制造了专用的干涉光路光轴对准度调试和检测工装,实现基准的转换,将原调试方法中不可视和不可测量的量转换为可视、可测量的量,从而变经验式的光轴对准度调试为理论指导下的可视化调试方法。该方法减少了系统装调的工作量,减小了各单体安装基准面变形应力对光轴的影响,达到了提高效率、保证质量、降低售后服务成本的目的。