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单晶炉等径控制方法

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作者 耀飞黔
出处 《LSI制造与测试》 1992年第6期10-15,共6页
关键词 半导体材料 单晶拉制 单晶炉 控制
分类号 TF806.9 [冶金工程—有色金属冶金]
  • 相关文献
LSI制造与测试
1992年 第6期

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