TDL—FZ35型区熔单晶炉的调速系统
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1张树敕,马学陶.TDL—FZ35型区熔单晶炉下传动部件的设计与制造[J].LSI制造与测试,1992,13(6):28-32.
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2高利强,王庆,王建春,董淑梅.TDL-Ta60型单晶炉的研制[J].电子工业专用设备,2005,34(1):71-74. 被引量：1
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3董淑梅,王庆.TDL-J60S激光晶体炉的开发研制[J].电子工业专用设备,2003,32(6):51-54. 被引量：3
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4梁秀梅,张冰毅.区熔单晶炉下轴旋转电机改型设计[J].电子工业专用设备,1999,28(4):32-34.
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5盛耀昌.TDG-28型大直径区熔单晶炉[J].电工技术杂志,1990(3):34-36.
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6刘小云,张志新,杨军良.TDL—J75高温氧化物晶体炉的研制[J].电子工业专用设备,1999,28(3):32-34.
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