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用于金属多层的超高真空系统

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作者 豫民
出处 《等离子体应用技术快报》 2000年第2期13-15,共3页
关键词 金属多层结构 电子枪 薄膜 超高真空电子束沉积系统
分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理] TB75 [一般工业技术—真空技术]
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等离子体应用技术快报
2000年 第2期

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