高精度高稳定性耦合台

1 引言半导体光电器件的耦合质量对保证器件的参数性能,提高器件生产的成品率有十分重要的意义。为了提高器件在耦合中的成品率、解决耦合过程中移位问题,我们自制了一台精度高,稳定性好的耦合台。实验证明,用此耦合台耦合的器件几乎不产生移位,大大提高了器件的耦合成品率,为探测器件的批量生产开辟了一个良好的前景。