1991年超大规模集成电路的材料和工艺表征(ICMPC′91)国际会议简况

International Conference on Materials and Process Characteristics of VLIC in 1991

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摘要 10月21日至25日,国内外代表130多人,在上海新锦江饭店召开ICMPC′91会议。国外代表主要来自美国、日本、意大利、新加坡,国内代表主要来自部分高等院校、科学院、有关研究所和工厂。机电部,13、24、46、55所和华晶集团均有代表参加会议。

作者袁明文

出处《半导体情报》 1992年第1期11-11,共1页 Semiconductor Information

关键词超大规模集成电路材料工艺

分类号 TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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