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μc-Si:H/a-Si:H多层膜的制备及性质 被引量:1

Preparation and Properties of μc-Si:H/a-Si:H Multilayers
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摘要 我们通过切换耦合电极的方法制备了μc-si:H/a-Si:H多层膜.这种多层膜的电导率呈各向异性,暗电导温度关系曲线可近似地看成由两条直线组成.随着 μc-Si:H亚层厚度的减小,喇曼谱中晶态峰降低,暗电导温度曲线的弯折点移向高温段.我们用纯电阻模型和单量子阱模型进行了讨论. The μc-Si:H/a-Si:H multilayers are synthesized by auto-exchanging two types of coup-ling electrodes.The conductivity of these films is anisotropic, the curve of dependence of darkconductivity on temperature is made of two lines.As the sublayer thickness decreases, the cry-stalline peak in Raman Scattering Spectrum de creases, and the inflection point of dark-con-ductivity-temperature curve shifts toward higher temperature.These results are discussed usingpure resistance model and one-dimension quantum-well model.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第1期54-61,共8页 半导体学报(英文版)
关键词 非晶硅 半导体 多层膜 制造 A-SI:H Raman Scattering Semiconducting Silicon Films
  • 相关文献

参考文献2

  • 1周心明,郑家贵,曾家玉,黄天荃,邱淑蓁,蔡亚平,徐晓菲,冯良桓.Si:H薄膜的微结构及输运性质[J].太阳能学报,1989,10(1):82-88. 被引量:3
  • 2陈治明,王建农,梅向阳,孔光临.两种新型的非晶半导体多层结构[J]半导体学报,1986(03).

二级参考文献4

  • 1高光,太阳能学报,1987年,8卷,2期,136页
  • 2国体中的光散射,1986年
  • 3林鸿溢,电子显微学报,1985年,3卷,46页
  • 4林鸿溢,电子显微学报,1983年,4卷,41页

共引文献2

同被引文献11

  • 1周心明,郑家贵,曾家玉,黄天荃,邱淑蓁,蔡亚平,徐晓菲,冯良桓.Si:H薄膜的微结构及输运性质[J].太阳能学报,1989,10(1):82-88. 被引量:3
  • 2陈治明 王建农 等.-[J].半导体学报,1986,7(3):331-333.
  • 3方俊鑫 陆栋.固体物理学(上册)[M].上海:上海科学技术出版社,1987.207.
  • 4周心明,太阳能学报,1989年,10卷,1期,82—89页
  • 5陈坤基,非晶半导体物理引论,1987年,202页
  • 6方俊鑫,固体物理学.上,1987年,207页
  • 7陈治明,半导体学报,1986年,7卷,3期,331—333页
  • 8Liu Jun,Appl Phys Lett,1993年,63卷,2783—2785页
  • 9Feng Lianghuan,Superlatt Micreostruct,1993年,13卷,87—91页
  • 10Liu Jun,Thin Solid Films,1993年,235卷,76—79页

引证文献1

二级引证文献1

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