静电封接技术及应用
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2罗鸣,赵新安,张熙,谭淞生,王渭源.静电封接过程与机理研究[J].Journal of Semiconductors,1992,13(8):507-510. 被引量:4
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4朱长武.真空静电封接原理的重新探讨[J].黑龙江电子技术,1990(2):4-8.
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5冯景星.硅与玻璃静电封接机理的研究[J].电子科学学刊,1995,17(6):661-664.
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7吴新坤,郭太良,黄振武,林建光,章秀淦,王瑞红.真空静电封接过程与分析[J].福州大学学报(自然科学版),2000,28(2):16-19.
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8张光照.微系统技术(连载四)──封装技术[J].传感器技术,1996,15(1):61-64. 被引量:1
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