PVD法制备ITO膜的发展概况被引量：2

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作者信觉俗于传耀

出处《薄膜科学与技术》 1992年第2期7-14,共8页

关键词 ITO膜 PVD法透明导电膜

同被引文献13

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2蔡琪,曹春斌,江锡顺,宋学萍,孙兆奇.ITO薄膜的微结构表征及其组分特性[J].真空科学与技术学报,2007,27(3):195-199. 被引量：23
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薄膜科学与技术

1992年第2期

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