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氮化钛薄膜的俄歇电子能谱定量分析研究 被引量:1

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作者 龚彬 王昌铧
出处 《薄膜科学与技术》 1992年第3期76-83,共8页
  • 相关文献

同被引文献3

  • 1岳瑞峰,真空科学与技术,1997年,17卷,3期,208页
  • 2朱唯干,背散射分析技术,1986年,24页
  • 3李振寰,元素性质数据手册,1985年

引证文献1

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