同被引文献53
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1王成,张贵彦,马莹,肖孟超,钱龙生.薄膜应力测量方法研究[J].激光与光电子学进展,2004,41(9):28-32. 被引量：11
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2周白杨,卢志红,林梅,姜华,邓光华.溅射方位对IBS沉积TbDy-Fe薄膜性质的影响[J].真空科学与技术学报,2004,24(5):367-371. 被引量：4
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3邵淑英,范正修,范瑞瑛,邵建达.薄膜应力研究[J].激光与光电子学进展,2005,42(1):22-27. 被引量：41
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4徐可为,高润生,于利根,何家文.薄膜应力测定的X射线掠射法[J].物理学报,1994,43(8):1295-1300. 被引量：14
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5吴平,邱宏,黄筱玲,田跃,赵雪丹,潘礼庆,王凤平,罗胜.金属薄膜制备及物性测量系列实验[J].大学物理,2006,25(5):39-41. 被引量：13
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6陈焘,罗崇泰.薄膜应力的研究进展[J].真空与低温,2006,12(2):68-74. 被引量：32
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7吴平,邱宏,姜德怀,张蓓,陈森,赵雪丹,黄筱玲.用干涉方法测量薄膜应力[J].物理实验,2006,26(9):7-9. 被引量：6
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8范玉殿,周志烽.薄膜内应力的起源[J].材料科学与工程,1996,14(1):5-12. 被引量：16
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9王丽蕊.PVC镀铝膜铝层牢固度的研究[J].现代塑料加工应用,2007,19(1):29-31. 被引量：5
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10杨于兴,穆树人,张榴凤.高温氧化薄膜应力的测定[J].上海交通大学学报,1997,31(1):80-82. 被引量：2
引证文献5
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1周白杨,邓光华,林庆彬.试片取向与IBS沉积TbDy-Fe膜应力及磁伸性能[J].真空科学与技术学报,2005,25(4):268-270. 被引量：2
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2吴平,邱宏,姜德怀,张蓓,陈森,赵雪丹,黄筱玲.用干涉方法测量薄膜应力[J].物理实验,2006,26(9):7-9. 被引量：6
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3周白杨,林庆彬,邓光华.非晶RGM薄膜应力的基片曲率显微测定方法研究[J].稀土,2007,28(4):38-42.
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4周思,陈迅驰,周惠君,王思慧.干涉法测量铝薄膜的轴向应力[J].物理实验,2008,28(9):5-8. 被引量：3
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5李家宝,覃明,马素媛,陈昌荣,Vincent JI.薄膜几种重要力学性能的评价[J].理化检验（物理分册）,2003,39(9):441-446. 被引量：4
二级引证文献15
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1赵海军,史建新,陈发,王学农.两种捡膜齿滚筒结构对工作性能影响的对比分析[J].河南科技大学学报（自然科学版）,2005,26(1):64-67. 被引量：2
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2刘凤智.硬状态金属材料表面力学性能的研究[J].黑龙江大学自然科学学报,2005,22(6):801-804.
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3吴平,邱宏,赵云清,姜德怀,张蓓,赵雪丹,黄筱玲,潘礼庆,田跃.低真空条件下制备的银薄膜的电阻率特性及结构[J].物理实验,2007,27(3):3-6. 被引量：3
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4贾大炜,施惠基,钟斌,于慧臣,牛莉莎.镍基定向凝固合金表面涂层力学参数测量[J].航空材料学报,2007,27(3):77-81.
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5周思,陈迅驰,周惠君,王思慧.干涉法测量铝薄膜的轴向应力[J].物理实验,2008,28(9):5-8. 被引量：3
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6陈南曙,黄元申,张大伟.全息光栅掩模应力控制研究[J].光学与光电技术,2008,6(6):58-60.
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7陈南曙,黄元申,张大伟.全息光栅掩模制备中的光刻胶薄膜特性控制研究[J].激光杂志,2008,29(6):55-56.
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8姬浩,乔生儒,弓满锋,韩栋,张程煜.PVD TiN涂层力学性能的测试方法[J].机械强度,2009,31(2):302-305. 被引量：7
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9魏玉鹏,王姝,张旭东,李建功.真空热处理对TbDyFe薄膜结构和磁学性能的影响[J].真空科学与技术学报,2009,29(3):241-246. 被引量：1
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10王福吉,贾振元,刘巍,赵建国.具有气敏涂层的GMF静态磁机耦合模型及实验研究[J].大连理工大学学报,2010,50(6):937-941.
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