激光CVD法制备α—SiC：H膜和太阳电池的实验研究
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2侯印春.激光化学汽相淀积[J].国外激光,1991(5):31-34.
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3王卫乡,张季波,李国明,吴育槐,曾志坚.激光合成纳米硅的可见发光[J].应用激光,1996,16(5):193-195. 被引量：1
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4吴鼎祥.KrF激光CVD形成α—Si：H膜过程中的两个阶段[J].薄膜科学与技术,1992,5(3):55-59.
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5张玉书,张庆有,丁涛.激光CVD[J].微细加工技术,1990(1):26-28.
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6王卫乡,刘颂豪,张有,梅宴标,廖健宏,陈强,陈可心.CO_2激光CVD制备纳米硅粉[J].激光与红外,1995,25(2):27-31. 被引量：8
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7任临福,张玉书,张庆有,石景龙.准分子激光直接刻蚀聚酰亚胺技术研究[J].微细加工技术,1989(2):36-38.
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8张玉书,张庆有,丁涛.准分子激光微细加工技术[J].微细加工技术,1989(2):48-52.
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9王卫乡,刘颂豪,李道火,刘宗才.激光CVD纳米氮化硅的制备工艺研究[J].应用激光,1995,15(3):97-99. 被引量：4
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10热加工专利：激光CVD设备与激光CVD方法[J].热加工工艺,2006,35(10):13-13.
