摘要
用自行设计的RF PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积 )设备沉积类金刚石膜 ,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析。表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高、对红外有良好的增透性 ,并且耐磨耐蚀、化学稳定性好。
The Diamond like Carbon (DLC) films were grown by RF PCVD.The mechanical,optical and chemical properties were analyzed.The result shows that the DLC films have a high hardness,low friction coefficient,good adhesion,high infrared transparency and chemical inertness.
出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期379-381,共3页
Vacuum Science and Technology
基金
国家教委博士点基金资助项目 (No.19990 5 612 1)
广东省自然科学基金资助项目 (No.990 5 48)
