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超声波电机驱动的精密位移机构

Precision Displacement Mechanism Driven by Ultrasonic Motor
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摘要 介绍了超声波电机驱动的精密位移机构的组成和性能特点 ,阐述了超声波电机的工作机理和位移机构的驱动原理 。
出处 《新技术新工艺》 北大核心 2002年第11期8-9,共2页 New Technology & New Process
基金 中国工程物理研究院基金资助项目 (2 0 0 1Z0 30 2 )
关键词 精密位移机构 压电陶瓷 超声波电机 precision displacement,piezoelectric ceramics,ultrasonic motor
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