薄膜应力与类金刚石薄膜结合力改善的研究进展

类金刚石(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数,高化学稳定性等优异性能,作为一种新兴功能材料受到诸多行业的关注。然而DLC生长过程会导致薄膜内部存在很高的残余应力,薄弱的膜基结合强度限制了其在工业上的广泛应用。本文简要介绍了国内外对于薄膜内应力的产生及其控制方面的研究进展,以及DLC膜基结合强度方面的研究现状和发展趋势。