氯硅烷残液干燥回收技术探讨

多晶硅生产一直被认定为高能耗、高污染行业,通过实施氯硅烷残液干燥技术,可有效回收利用残液中的氯硅烷,降低生产成本,节约能耗,减轻对环境的污染,具有很高的经济效益和社会效益。