真空抽负装置在还原炉生产过程中的运用

多晶硅生产方法主要有两种,一种是改良西门子法,另一种是硅烷法;目前全球有85%的厂家采用改良西门子法生产多晶硅;采用改良西门子法生产多晶硅关键在还原工序,还原工序的生产成本占整个多晶硅生产成本的50%。因此,稳定还原炉的操作,保证还原炉的在线生产是工作的重点,真空抽负装置在还原工序的运用,有效提高还原炉的生产效率,降低了还原工序的生产成本。