多晶硅中磁性物质的分析及金属杂质的控制

本文对多晶硅产品中检出的磁性物质进行了分析,明确了其物相和来源。并论述了金属杂质对下游产品的影响,对多晶硅生产过程及后处理过程中金属杂质的引入和控制进行了讨论。