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薄板玻璃
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摘要
随着光电子科学和技术的发展,出现了一类玻璃,它在光学、电学性能方面有特殊的要求,产品形状为平板、厚度小于建筑用平板玻璃、对表面平整度要求较高,一般通称薄板玻璃。主要用做大规模集成电路光刻中掩膜板的基板,液晶显示器、大屏幕平面显示器、弹性波表面滤波器。最近出现的各种大规格光盘,在尺寸、精度、机械性能上提出了新的要求。薄板玻璃也用于太阳能电池盖板、手表表面、显微镜盖玻片、载玻片等。
作者
蒋亚丝
机构地区
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《玻璃与搪瓷》
CAS
北大核心
1992年第3期31-33,50,共4页
Glass & Enamel
关键词
掩膜板
玻璃
薄板玻璃
集成电路
分类号
TQ171.729 [化学工程—玻璃工业]
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玻璃与搪瓷
1992年 第3期
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