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N型4H-SiC表面改性及性能研究 被引量:2

Study on Surface Modification and Characterization Of N-type 4H-SiC
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摘要 研究了在N型4H-SiC的表面上引入炔基来提高表面的固定密度和稳定性的方法。炔基的引入可以为DNA探针在碳化硅表面固定做好铺垫,从而改善碳化硅表面生物活性,为制备碳化硅基生物传感器具有一定指导意义。 The method to improve the fixed density and stability of N type 4H-SiC surface by introducing alkynes was studied.The introduction of alkynes can pave the way for the fixation of DNA probes on the surface of SiC,so as to improve the biological activity on the surface of SiC,which has certain guiding significance for the preparation of silicon carbide based biosensors.
作者 王利忠 李斌 王英民 魏汝省 侯晓蕊 张世伟 WANG Lizhong;LI Bin;WANG Yingmin;WEI Rusheng;HOU Xiaorui;ZHANG Shiwei(Shanxi Shuoke Crystal Co.,Ltd.,Taiyuan 030024,China)
出处 《电子工艺技术》 2019年第4期237-240,共4页 Electronics Process Technology
基金 国际科技合作项目(2013DFR10020) 中国电子科技集团公司技术创新基金(5511234) 山西省科技重大专项(20181101007)
关键词 N型碳化硅 表面改性 性能表征 N-type silicon carbide surface modification performance characterization
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参考文献11

二级参考文献262

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同被引文献3

引证文献2

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