石英玻璃中羟基对其性能的影响

化学气相沉积合成石英玻璃中羟基主要以三种形式存在,即孤立羟基、相邻羟基和强氢键羟基。由于羟基存在结构形式不同,它对石英玻璃理化性能的影响作用也不同。本文主要概述了均化工艺对合成石英玻璃中羟基含量的影响,以及羟基存在结构形式对石英玻璃物理化学性能、光学性能、激光损伤阈值等特性的影响。