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基于陶瓷基板的偏差校正研究

Research on Deviation Correction Based on Ceramic Substrate
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摘要 为保证4寸陶瓷基板的运输定位精度,设计了一种校正装置,并提出一种通过机器人的辅助搬运来消除偏差的校正方案。该方法可以有效地消除陶瓷基板在料盒中的放置偏差,有助于提高4寸陶瓷基板在运输后的定位精度。 In order to ensure the transportation positioning accuracy of the 4-inch ceramic substrate,a correction structure is designed,and a correction scheme for eliminating the deviation by the auxiliary handling of the robot is proposed.The method can effectively eliminate the placement deviation of the ceramic substrate in the cartridge.Helps improve the positioning accuracy of 4-inch ceramic substrates after transportation.
作者 叶文涛 贺云波 YE Wen-tao;HE Yun-bo(School of Electromechanical Engineering,Guangdong University of Technology,Guangzhou 510006,China)
出处 《机械工程与自动化》 2019年第5期7-9,共3页 Mechanical Engineering & Automation
基金 广东省自然科学基金资助项目(2016A03030816) 广东省重大研发专项(2015B010133005,2018B090906002)
关键词 陶瓷基板 校正 偏差 定位精度 ceramic substrate correction deviation positioning accuracy
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