摘要
综述了冷氢化法制备三氯氢硅中四氯化硅反应机理、反应条件、催化剂、无水氯化氢和能量综合利用的最新进展。
New progress of the reaction mechanism,reaction conditions,catalysts,anhydroushydrogen chloride and thecomprehensive utilization of the energy of the cold hydrogenation process are presented.
作者
沈峰
陈其国
潘维杰
SHEN Feng;CHEN Qi-guo;PAN Wei-jie(Jiangsu Zhongneng Polysilicon Technology Development Co.,Ltd.,Xuzhou 221004,China)
出处
《中国氯碱》
CAS
2019年第9期18-21,共4页
China Chlor-Alkali
关键词
四氯化硅
三氯氢硅
多晶硅
冷氢化
silicon tetrachloride
trichlorosilane
polysilicon
hydrogenation
