期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
半导体行业超纯水处理系统优化设计
下载PDF
职称材料
导出
摘要
随着电子科技的迅速发展,半导体行业作为现代信息产业的关键产业,其超纯水制备及处理技术也随之快速发展。文章将针对半导体行业超纯水处理系统的优化设计进行研究。
作者
袁帅
机构地区
中国电子系统工程第二建设有限公司
出处
《科学大众(科技创新)》
2019年第8期83-83,共1页
关键词
半导体
超纯水
系统优化
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
5
参考文献
2
共引文献
8
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
参考文献
2
1
许德洪.
半导体行业超纯水制造技术[J]
.工业水处理,2010,30(5):90-92.
被引量:8
2
郭辉,郭娅娜,何银平.
半导体行业超纯水处理系统优化设计[J]
.广东化工,2011,38(6):197-198.
被引量:3
二级参考文献
5
1
王怡 郑建国.半导体工厂设施管理的“按需生产”.半导体科技,2008,(9):27-33.
2
陶氏化学公司液体分离事业部.陶氏膜产品与技术手册[Z].
3
美国海德能公司.反渗透和纳滤膜产品技术手册[z].
4
林耀泽.
纳米级集成电路与超纯水[J]
.微纳电子技术,2002,39(9):1-5.
被引量:6
5
吴纯傲.
超纯水系统工艺及其施工[J]
.安装,2003(4):24-25.
被引量:5
共引文献
8
1
黄京.
利用反渗透技术的RO-SPC超纯水系统的设计[J]
.武汉船舶职业技术学院学报,2014,13(2):76-78.
被引量:2
2
薛张辉.
半导体工业超纯水的技术指标及其制备概述[J]
.广东化工,2018,45(21):62-63.
被引量:4
3
乐晨,张其盛,张林,钮成超.
光伏行业超纯水制备工程实例[J]
.南方农机,2019,50(22):229-230.
被引量:2
4
赵宏亮,边晓东,刘建民,高津平.
快排清洗槽中节水阀的应用分析[J]
.清洗世界,2020,36(3):43-45.
被引量:1
5
赵晶,孙超,李文硕,陈信.
超纯水水质对大直径硅片酸腐蚀表面质量的影响[J]
.冶金标准化与质量,2020,58(4):24-30.
6
杜荣东,王建斌,丁同喜.
电子工业用超纯水设备技术及应用[J]
.清洗世界,2021,37(3):66-69.
被引量:2
7
李朋,马兴峰,周伟,汤付军,曹向前.
碳化硅电子行业纯水生产工程实例[J]
.洁净与空调技术,2021(2):64-66.
8
高永钢,解保雷,苏成龙,史志伟,FU Fengjiang.
纳滤-膜蒸馏集成工艺用于超纯水生产的中试研究[J]
.工业水处理,2023,43(6):164-170.
被引量:1
1
孙方坤,张义炜.
带电水冲洗用车载超纯水处理系统研究[J]
.低碳世界,2017,7(34):82-84.
2
蔺凯丽,黄琦,黄琦辉,靳祯亮,姜天甲,郑小林.
麦角硫因抑制双孢蘑菇褐变及其与能量代谢关系[J]
.中国农业科学,2018,51(8):1568-1576.
被引量:7
3
黄文良.
高新技术企业经营管理策略探讨[J]
.商讯(商业经济文荟),2019,0(17):63-63.
4
周玉虎.
化工企业分析化验室安全管理制度的建立健全探究[J]
.化工管理,2019,0(18):101-101.
被引量:5
5
刘泉扬.
浅谈火电厂发电机组的电气故障维修[J]
.建材发展导向,2019,17(18):388-388.
6
王涛,王晴晴,赵丹,童超.
资源型地区产业多元化问题研究——以山西省为例[J]
.干旱区地理,2019,42(5):1221-1228.
被引量:2
科学大众(科技创新)
2019年 第8期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部